梁孟松的眼神和陈学兵对上,陈学兵恍惚间看到了他中午对着王兴一般的无语。
不,好像还要更无语。
“你从哪学的伪科学?光源的波长进入任何物质都不会被改变,这是七年级物理课内容。”
“...我学文科的,再说我们大陆课程和你们不一样,初二才有物理,能搞懂干式和浸没式的区别就不错了。”陈学兵强行挽尊。
“好吧。”梁孟松倒也没有纠结,反而赞赏起来:“也是,你这样的投资人愿意了解这些,不多见。”
陈学兵口罩下重新微笑,心里也逐渐清晰起来。
“那工艺因子k₁,听起来是和工艺相关?是各个厂家的技术决定吧?”
“对,这是很多技术决定的,拿65nm节点来说,中芯目前应该0.4-0.45之间,而台积电能达到0.32-0.35,所以中芯的65nm节点实际线宽可能是68nm,台积电65nm节点的实际线宽可以达到56nm,双方同代下会有性能差,不过这个问题你不用担心,我会逐步调整的,而且0.25就是理论极限,想继续逼近极限非常难,成熟节点的落差最终不会太大。”
陈学兵听着,有了判断。
那这个k₁确实很难产生很大进步了。
波长不能变,NA接近极限。
除了通过提升套刻精度搞更多重的曝光,DUV已经难有提升了。
他这么一想,对EUV就愈发有危机感。
EUV光源的波长缩短十几倍,分子不是一下就缩小了十几倍?
“EUV...你了解吗?”陈学兵试探着问道。
他之前问过张汝京同样的问题,得到的是否定的答案。
梁孟松则迟疑了一下:“EUV?你想问什么?”
他一时没有思路,只能顺着刚才的话题问道:“EUV...也是靠这个公式进步吗?”
“是,不过EUV那样的光源,NA值达不到这么大,首先它波长太短,在任何介质下都会被吃掉,所以传播必须是真空,无法通过水提高折射率,连透镜折射都不行,只能反射,所以它的目标NA值是0.33,很难提升。”
其实这个0.33还有一番算法,梁孟松也不再细讲了,直接给了个答案。
陈学兵倒是听得心里一动:“这方面的理论知识你都清楚?”
梁孟松耸耸肩,笑道:“台积电从去年开始把EUV加入研发路线,林本坚和Anthony Yen负责,尤其是Anthony Yen,深度参与过EUV LLC早期的研究,自带最前沿的Know-how...比起他们,我不算了解。”
“能挖吗?”陈学兵立即道。
“怎么?你妄想做EUV?”梁孟松反笑:“你不是答应台积电不挖他们的人。”
“我答应中芯不挖,没说我不挖。”陈学兵哂笑:“我不动手就好了,不过,我还有一家刚成立的光刻机公司。”
梁孟松都上船了,他也不怕直说。
有些事想弄明白,恐怕也只有直说才行。
“做光刻机?”梁孟松眯了眯眼睛,倒没有太意外,不过随即却摇头:“DUV你有机会,EUV你肯定没机会的,是美国选中了ASML,连尼康和佳能都被排除在外,他们拿到了美国EUV全部专利技术,还有欧洲几十家关键厂商在支持,至今也才做出第一台试验机,离量产还不知道有多少距离,你凭什么觉得你能行?”
陈学兵听得扬了扬眉:“一点也没可能?”
“一点也没有,除非你能拿到美国Cymer的全套光源文件,然后得到德国镜片、奥地利传感器、荷兰精密机械、法国光学涂层...剩下我也不太清楚了,反正几十家厂子吧,全部的支持。”
梁孟松说到后面,已经带着点揶揄口吻了。
陈总又换了个思路:“那...能不能挖他的人?大量那种。”
梁孟松皱了皱眉:“你还没听懂?它是家组装厂,纵使是一家人类工业史上难度最高的组装厂,它的技术人员也必须依靠全套供应链的支持才能做出一台试验机。”
“我是说...挖人,能不能阻断它的研发进程?”陈学兵顿了一下,缓缓道:“你想,我投入了大量的经费让你研发多重曝光,通过这种方式结合FinFET进入14nm制程,按照你的说法,要五年时间,也许还会更久,如果我们刚做出来,EUV研发量产成功,我们是否又要基于EUV的路线,和别人站在同一起跑线研究FinFET?”
他没有提EUV能不能买,就这么假设了一下。
梁孟松沉默了。
而后,语气认真道:“我必须现在就告诉你,EUV的分辨率天生就够做FinFET,只需曝光一次,如果EUV量产,我的FinFET技术研发积累依然会有效,但和DUV多重曝光完全不是一个难度,DUV可以说是地狱式的难度,所以EUV一旦出现,必须放弃DUV路径。不过...我之前不提,不是在骗你投入,而是我认为他们在十年内都很难做出可交付的量产机,你的投入不会是无效的,一定有机会走在世界前列很长一段时间,产生的回报会对得起你的投入。”
台积电不肯走这条路,也有这样的担心,但台积电和中芯不一样,不需要一个翻盘的机会。
对于中芯来说,走这样的路意义就很重大。
况且对他来说,也不想放弃这样一个金主的支持。
“我当然没有怀疑你,我只是说...”陈学兵眼含期待,“有没有可能拖慢他们的进度,让这个领先的过程长一点呢?比如我刚才说的方法。”
“挖人?”梁孟松基于自身的立场想了想,认真和陈学兵聊起这个伤天害理的话题,“大概很难吧,ASML的人才池不是孤岛,是全球协作,补充人员会很快,你能挖他们多少?一百,两百?他们很快就会补充起来。”
陈总失望了一下,随后,恶从胆边生。
“那如果...烧了它呢?”
梁孟松脸颊抖了抖,第一次在陈学兵面前现出了紧张,瞅了一眼张汝京那边,低声喝道:
“这么干,会被通缉的!你知道ASML对美国保密等级有多高?全世界先进光刻机停产,先进制程全部停工,特工,国际刑警都会来查!而且...机器你不想要了?没机器我怎么做研发?”
“哦,对。”陈总长叹一口气。
妈的,他不产,我也拿不到了。
陈总失望之中,梁孟松忽地长长沉吟一声。
“嗯...”
“其实你真想做,有个很安全的办法。”
“嗯?”陈总眼神又亮。
梁孟松有点纠结,作为半导体科研人员,应该以全行业进步为追求,实在不该讨论怎么去阻碍进步。
奈何陈学兵对他的巨额投入,又不能白费。
此时他的立场,竟与这件事捆在一起了。
“哎。”他叹了一声,还是说道:“像我刚才说的那些供应链厂子,有的很重要,但他们很多市值低,家族控股,很容易被利诱,你不用去搞破坏,也不用要求他们对ASML断供,只用要求他们以‘品质升级,工艺优化’这种理由,把ASML的交货周期拉长一半,甚至一倍,ASML的整机集成进度就会被活活拖死,而且还挑不出理,没有任何人有理由去查。”
陈学兵愣住。
梁孟松瞥他一眼,以为他不太满意,又道:“动Cymer也可以,EUV光源是命门,Cymer里面的技术路线本来就吵,你只要能收买技术评审会的人,提一些‘更完美,更严谨,更费时间’的方案,让他们不断推翻原型,ASML的整机进度也会被无线拖后,这样就没有破坏,没有泄密,只有‘技术争论’,帮你做事的人风险很低。”
陈总已经倒吸凉气。
“其实按照你的优势,在他们打算融资的时候放消息做空他们...”
梁博士还欲补充,陈学兵已经抬手。
“够了够了,梁博士,我已经悟了。”
陈总这一刻感觉很多事情茅塞顿开,脑子里的思维如宇宙大爆炸一般。
腹黑指数+1+1+1+1....
他逐渐笑了起来,抬起的手掌收拢,由衷地竖了个大拇指。
“专业。”
这个就叫专业!