极光干预中芯国际战略走向的方式,简单且粗暴。
总结起来就三点。
给钱!
给人!
给订单!
首先,北极星创投,联合中投、魔都科创、国投创业,以及当时刚成立不久的“大基金”,组成联合投资团,向中芯注资25亿美元!
资金定向用于产线扩充及技术研发。
其次,极光、星光、中芯国际,三方成立联合研发中心。
以昆仑400芯片为验证载体,共同攻克14nm FinFET核心工艺模块,加速量产落地进程。
并且,极光将为其升级14nm仿真工艺模型,并提供无上限的高性能算力。
研发费用分摊,专利共同持有。
此外,在北极星和大基金的串联下,中微、拓荆、电科装备、北方华创、华海清科、魔都微电子、华夏电子集团等一众上游设备材料商,也加入了联合研发项目组。
构建“材料-工艺-设备”的协同闭环,共同推动14nm先进制程的国产设备突破。
而在极光的游说及干预下,以大唐电信为首的保守派股东,话语权被严重削弱。
由北极星,以及中投、大基金等国家队,共同组成的投资团,成功占据中芯董事会多数席位。
进而推动中芯国际,沿着星光给出的“技术方案”,一路埋头狂奔。
如今,狂奔两年有余。
终于!
终于突破了14nm FinFET核心工艺模块,与DUV多重曝光技术的所有技术难点,并成功完成流片验证!
从28nm,跨越20nm、16nm,直接越级三级研发14nm!
且还是在中芯国际,先进工艺研发经验匮乏的技术底子上!
2年时间完成流片,已经算是超级加速了!
这背后,主要得益于,极光为其搭建的14nm仿真工艺模型,加之极光云的高性能算力,大幅压缩了研发周期。
将单轮仿真时间,压缩至12小时!
比台积电AWS平台,快了6倍有余!
且同时支持100组不同工艺参数的仿真任务!
可快速覆盖不同工艺场景,避免单一参数测试的反复迭代。
远胜AWS的20组!
另一方面,14nm FinFET的核心难点是,多重参数协同优化。
如鳍片高度、栅极长度、光刻剂量等,需同时满足性能、功耗、良率要求。
传统方法,需工程师凭经验,测试数百组参数。
而中芯国际的14nm工艺仿真模型,接入极光通用大模型后,可通过学习28nm历史数据+14nm仿真数据,直接输出最优参数组合。
直接减少了70%物理试错次数!
正是因为以上种种独家优势,联合研发组,才得以在短短两年内,实现从28nm到14nm的跨越式突破!
更为喜人的是,流片测试报告中的核心工艺指标,也比洛川预想中出色不少。
中芯国际第一代14nm FinFET工艺,命名为“N14”,采用鳍式场效应晶体管技术。
栅极长度30nm,与三星14nm工艺相当!
最小金属间距68nm!
优于台积电16nm工艺的90nm,以及三星14nmLPP的72nm!
晶体管密度,高达89MTr/mm²!
相当于每平方毫米,集成近9000万个晶体管!
比28nm工艺,提升2.5倍!
与三星14nm LPP工艺大致相当,落后于台积电16nm FinFET Plus。