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第135章 搞个大的,步进式扫描投影光刻机

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  “如果他们真的能够在光刻机领域取得突破,那对我们来说,可能并不是一个好消息。”

  史密斯微微一笑,语气中带着一丝不屑:“我觉得您多虑了。光刻机的研发不仅仅是资金的问题,更是一个系统工程。”

  “它涉及到光学、机械、电子、材料科学等多个领域的前沿技术。”

  “华夏在这些领域的基础研究和技术积累远远不够,尤其是高精度光学镜头、精密机械加工和光刻胶等关键材料,几乎全部依赖进口。”

  “即使京西机械厂相比其他工厂来说,经费比较充足,短期内也很难突破这些技术瓶颈。”

  史密斯这几年跟京西机械厂打交道特别的多,对于那边的不少情况也算是比较了解。

  与此同时,他对整个华夏的工业水平也算是有一个相对清晰的认知。

  只是他对江向阳的理解,显然还是太少了。

  恒安石听了史密斯的话,皱了皱眉,“京西机械厂最近几年在精密加工和高技术产品研发方面取得了不少成绩。”

  “他们的航空发动机项目和防空导弹系统项目,涉及到的技术难度并不比光刻机低。”

  “如果他们能够将这些技术应用到光刻机的研发中,或许真的有可能取得一些突破。”

  凡事都要朝着最坏的方向发展,然后采取对策。

  这算是恒安石的一个个人工作习惯了。

  不过史密斯却是摇了摇头,语气依然坚定的继续补充了自己的看法。

  “我觉得先进的光刻机的技术难度和复杂性是超过航空发动机和防空导弹导弹系统的。”

  “光刻机的核心部件,比如高精度光学镜头和精密机械平台,需要极高的加工精度和稳定性。”

  “目前全球能够生产这些部件的企业屈指可数,而且这些企业几乎都集中在东瀛、美利坚和欧洲。”

  “华夏在这些领域的技术积累几乎为零,短期内根本无法实现自主生产。”

  作为自己信任的下属,史密斯的态度多少也还是会给恒安石带来一定的影响。

  所以恒安石沉默了片刻之后才继续追问道:“那你的意思是,即使京西机械厂接手了光刻机项目,短期内也无法对我们构成威胁?”

  史密斯点了点头,语气中带着自信。

  “是的,至少在未来的五到十年内,华夏的光刻机技术仍然无法与国际先进水平相提并论。”

  “即使他们能够研发出一些低端的光刻机,也无法满足高端芯片生产的需求。”

  “而高端芯片的生产,才是真正跟高科技相关的东西。”

  “否者的话京西机械厂也就只能生产一些用在电子手表和遥控风扇上面需要的芯片和对应的光刻机设备。”

  恒安石若有所思地点了点头,然后在追问了一句,“那我们应该如何应对京西机械厂的这一举动?是否需要采取一些措施,限制他们的技术发展?”

  虽然双方现在处于蜜月期,但是国与国之间的关系,从来不是黑和白的关系。

  合作的过程之中,各种斗阵也是一点都不少。

  就像是恒安石手中就每年都有一大笔经费用来资助一些项目,这些项目绝对不是华夏这边希望看到的。

  首都这边有不少人每年都会从恒安石的这个项目之中拿到一些经费。

  “短时间内我们不需要采取任何激进的措施。”

  “华夏的光刻机项目本身就是一个巨大的资金和技术黑洞,即使京西机械厂投入再多的资源,短期内也无法取得实质性的突破。”

  “将来一旦有什么新突破,我们可以通过技术封锁和出口管制,继续限制他们获取关键技术和设备。”

  不管是于公于私,史密斯现在都不想跟京西机械厂那边把关系搞僵。

  别说他刚刚说的那些话,他自己觉得很有道理。

  就算是他觉得京西机械厂搞光刻机真的会给美利坚带来威胁,他也会适当的帮忙缓和一下。

  要不然恒安石安排他冲上去跟京西机械厂过不去的话,那绝对是会影响他个人跟京西机械厂的一些合作。

  万里迢迢的来到华夏这边工作,史密斯可没有那么的伟大,完全站在美利坚的角度去考虑问题。

  大多数时候,他也是需要为他自己考虑的。

  只有当个人利益和美利坚的利益保持一致的时候,他才会全力的去推动。

  比如跟京西机械厂合作一些军工产品用来援助阿国游击队。

  这种事情的积极性,他就比谁都要高。

  “行,既然你这么分析,那我们就先观察一段时间再说。”

  “京西机械厂前几年都还只是一个濒临倒闭的两三百人小工厂,现在一下子上马了那么多的大项目。”

  “我倒是很好奇到时候江向阳如何去收场。”

  恒安石呼了一口气,觉得自己估计真的想的太多了。

  要是光刻机有那么好搞的话,那么现在全球范围就不会只有东瀛和美利坚的企业做到比较好了。

  欧洲那边也都是去年才开始成立ASML去研发和生产高端的光刻机。

  ……

  “步进式扫描投影光刻机?”

  “江厂长,这就是你对我们新一代光刻机的设想?”

  钱正红很快就来到京西机械厂报道,正式加入到了光刻机项目的开发之中。

  这段时间,为了让转移过来的四机部和科学院的技术人员尽快的收心,江向阳也是亲自出马,跟大家讨论了不少光刻机相关的东西。

  并且还亲自设计了新一代光刻机的主要结构。

  现在就等着项目团队去落实下去。

  “是的,在国际上,步进式扫描投影光刻机经历了多个发展阶段。”

  “从早期的接触式光刻到接近式光刻,再到投影式光刻和步进式扫描投影光刻。”

  “随着技术的不断进步,光刻机的曝光精度不断提高,从而推动半导体工艺的快速发展。”

  “我们既然要搞,那就要搞最先进的。”

  在让苏国富去做工作的时候,江向阳没办法把话说的那么激进,免得起到了反作用。

  但是现在光刻机项目正式的落地京西机械厂,情况就不一样了。

  他准备搞个大的,直接把步进式扫描投影光刻机给搞出来。

  历史上,这种技术的光刻机的代表性产品就是ASML推出来的PAS 2500。

  “步进式扫描投影光刻机的工作原理是通过光源发出的光线,经过掩模上的电路图案后,再通过投影镜头将图案缩小并投影到硅片上,同时在光刻胶上形成曝光图案。”

  “这个技术是目前国际上最先进的。”

  “但是我们项目小组之前研发出来的是接触式光刻机,连第二代的接近式光刻都还没有搞出成品出来,更加不用说第三代的投影式光刻机和第四代的步进式扫描投影光刻机了。”

  “到现在为止,我们除了知道步进式扫描投影光刻机的工作原理,其他方面的研究几乎处于空白的状态。”

  钱正红倒也不怕丢人。

  这个时候不懂装懂,不行装行,那是会出大事的。

  到时候项目开干了,迟迟搞不出结果出来。

  他担心光刻机项目再次面临下马的局面,这肯定不是他希望看到的。

  所以看到了江向阳的规划之后,钱正红准备好好的跟他聊一聊。

  “你说的没错,我们在第四代光刻机领域确实是跟国际先进水平还有比较大的差距。”

  “但是这些差距并不是一点克服的希望都没有。”

  “我结合各种公开的信息,整理出来的这个设备结构,从理论上是完全可行的。”

  江向阳拿出来的本身就是历史上已经被证明过的产品方案,说话的时候自然是底气十足。

  “光源系统、掩模版、掩模台、光敏材料、基板台以及控制系统。”

  “这些关键部件的布局我都已经设计好了。”

  “这台设备的工作原理是光源发出的光线通过掩模版照射到光敏材料上,掩模台和基板台按一定速度进行相对运动,使曝光图案在光敏材料上扫描。”

  “经过多次扫描后,整个图案完整地曝光在光敏材料上,再通过显影等步骤得到所需的图案。”

  这是一个很好的征服光刻机项目团队的机会,江向阳自然没有打算藏着掖着。

  虽然他之前没有任何光刻机研发相关的履历,但是拿出来的方案谁也找不出问题点,那样子反而更加有冲击力。

  “我们从第一代光刻机直接跨越到第四代,需要克服的技术难点肯定很多啊。”

  “厂长,我们是不是先考虑一下把第三代光刻机作为下一步攻关的重点?”

  对于钱正红来说,第二代光刻机都还没有搞出来,直接跳跃到第三代就已经是非常有挑战性的事情了。

  现在要直接跳到第四代,他是一点信心都没有。

  “技术难点肯定是有的。”

  “首先就是光源波长的选择至关重要,我目前的设计方案是使用193nm的ArF准分子激光。”

  “从理论推导来说,这种光源的虽然相比第三代光刻机有所改进,但随着制程的不断缩小,对光源的波长和稳定性要求更高。”

  “然后就是多层光刻技术的实现需要精确控制每一层曝光的过程,确保层间对准的精度。”

  “这方面我们国内还缺少相关的经验,需要不断的摸索和尝试。”

  “再有就是光刻胶的改进也是技术难点之一,新型光刻胶需要具备更高的敏感度和更好的耐久性,以满足更精细的制程要求。”

  “很可能在设备投产初期,我们的光刻胶需要从东瀛进口。”

  “除此之外,关键零件的机械加工精度、光学精度以及控制精度的提升也是很有挑战性的。”

  江向阳都把话给说完了,钱正红就算是想要再说什么,也觉得好像不合适了

  至少从这个方案来看,江向阳在光刻机的整体设计方面,似乎非常的有天赋。

  他觉得跟着这个方面去尝试一下,也未尝不可!

  万一真的搞出来了,那就是一个天大的成绩!

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